加氫脫氧純化裝置以一定流量的氮氣和氫氣同時進入純化裝置，先經氮氫自動配比裝置和靜態混合器均勻混合，再進入催化脫氧器。

加碳純化裝置在一定溫度下，氮氣中的余氧與碳催化劑發生氧化反應，生成二氧化碳，化學反式:C+O2=CO2，使氮氣中的氧含量≤5PPm。